常州銀河世紀微電子股份有限公司是一家專注于半導體分立器件研發、生產和銷售的高新技術企業,具備IDM模式下的一體化經營能力。公司產品廣泛應用于計算機及周邊設備、家用電器、適配器及電源、網絡通信、汽車電子、工業控制等領域。公司于2021年1月27日在上交所上市。
半導體行業作為高新技術產業往往被人誤解為 “清潔”產業,但事實上,半導體生產過程中使用了大量有機和無機物,包括許多有毒有害物質,對環境危害較為嚴重,如不加以控制,將會產生較大的環境污染。隨著國家對環保的重視,國家和地方相繼發布了半導體行業廢氣排放標準。
半導體生產過程中產生的廢氣依據廢氣排放特性,可分為:一般排氣、酸性排氣、堿性排氣和有機排氣、針對不同的廢氣特性,處理的方法也不同。
常州銀河世紀微電子股份有限公司在生產中主要產生一些酸堿廢氣和Voc有機廢氣。對于半導體行業中產生的酸性堿性廢氣,由于處理原理基本相同,我們采用廢氣洗滌塔系統進行處理。
廢氣在風機引風作用下,廢氣進入第一級洗滌塔底層填料床,以低速進入內外夾套而成的均壓室內,采用循環泵輸送,逆流式洗滌,將廢氣平均分布在 PP 特拉瑞帶刺花環填料層周圍,每只呈現點接觸,排列“Z 或 W”不規則路線行走,無偏流現象,再配合螺旋式高流量、不阻塞噴嘴,使氣液二相混合率達 97%以上,洗滌塔主要采用堿液(具體根據現場實際情況)進行中和吸收處理,如此在經過單機或多級水洗滌塔后吸收后廢氣得到再次凈化,最終廢氣經處理后達到國家排放標準。
而對于半導體行業中產生的Voc有機廢氣,我們通常采用直接焚燒、有機活性炭吸附、生物氧化等方法進行處理。對于濃度較高的有機廢氣,我們才建議直接焚燒,而濃度較低的有機廢氣,我們通常采用活性炭吸附的來處理。
此項目我們用活性炭纖維吸附的方法處理,其結構及工作原理:凈化器分進風段、炭纖維過濾段和出風段。過濾段由幾個到幾十個過濾筒組成,有機廢氣從進風段進入箱體經由濾筒吸附凈化,凈化后的空氣由通風機排入大氣。
隨著中國半導體行業的飛速發展,半導體行業廢氣排放達標及監管任務繁重。有效控制半導體生產對環境帶來的影響,促進行業發展健康可持續發展,這是解決半導體行業發展的重要問題。超日凈化希望能為半導體行業提供更多性價比高的廢氣處理技術,讓半導體行業有更多的技術選擇。